WLBI3800 ウェーハレベルエージングシステム

 

WLBI3800ウエハレベル老化システムは、高性能な専門の炭化ケイ素ウエハ老化テスト装置であり、同時に3 枚のウエハに対して高温ゲートバイアス（HTGB）老化と高温逆バイアス（HTRB）老化を行うことができます。老化テストの時間範囲は数分から数十時間、さらには数千時間にまで拡張可能で、さまざまな製品の老化ニーズに応えます。装置は自動供給および排出システムを統合しており、デュアルカセット設計によりシームレスな切り替えをサポートし、老化条件の自動切り替え機能を備えています。各ダイの閾値電圧（Vth）を正確に検出することができます。システムの各チャネルには独立した過電流保護機能があり、測定対象デバイスの安全を確保します。システムはマップデータを生成し、ユーザーが詳細な性能分析と品質管理を行えるようにします。システムはバッチ生産に対して安定した信頼性のある老化テストサポートを提供し、研究開発アプリケーションに対しても柔軟な構成オプションを提供します。

 

特徴

自動積み込み・積み下ろし

ウェーハの全自動給排をサポート
人為的介入を減少させ、老化率と正しさを向上させる

 

高精度定位

針痕の繰り返し位置決め精度は±25μmに達します

 

システム機能が豊富です

マップデータバインディングをサポートする
高密度プローブカードおよび高圧チャックをサポートしています
最高で2112 個のダイを同時に老化させることができます

 

多モード老化

HTGBとHTRBは自動的に切り替わり、異なる老化ニーズに対応します

 

漏電配置スキャン

IgssとIdssの漏電設定をスキャンできます

 

集成テスト機能

集成 Vthパラメータテスト

 

高精度漏電流テスト

最高精度漏電流分解能は0.1nAに達することができます

 

温度制御

温度均一性≤±3℃、精度≤1℃、分解能 0.1℃

 

仕様

項目	項目名称	配置モデル	システムの特徴
1	ウェハレベルバーンインシステム本体	WLBI3800-M	- システムラック、電気キャビネット、自動搬送装置 - ウェーハの自動搬入・搬出をサポート - 針痕位置への繰り返し位置決め精度は±25μmです - マップデータバインディングをサポートし、データは追跡可能です - HTGBとHTRBは自動的に切り替え可能です - IgssとIdssの漏電設定をスキャンできます - 集成 Vthパラメータテスト - 柔軟な老化計画の設定 - SECS/GEM 通信インターフェースをサポートしています - ソフトウェアはローカルデータとデータベースのアップロードをサポートし、EAPとの接続をサポートしています。 - 支持 CP MAPデータのインポート - オンライン編集テストレシピをサポートする - ソフトウェアは三層の権限管理と複数アカウント管理をサポートしています 備考：HTGB+HTRB：3層フル構成
2	ウェハレベルバーンインシステム（単層）	WLBI3800-L	-窒素保護を支持し、高圧点火とパッドの酸化を防止します。 - 温度均一性≤±3℃、精度≤1℃、分解能 0.1℃。 - 高密度プローブカードおよび高圧チャックのサポート 高精度かつ高信頼性の加熱および温度制御システム - 6インチおよび8インチウェーハ - 全ダイを一括接触し、一次バーンインで最大2,112個のダイに対応 - 1 年無料メンテナンス 備考：HTGB+HTRB 3層フル構成
3	ウェハレベルバーンインシステム治具	WLBI3800-F	- SiCウェーハの劣化に関する：HTGB+HTRB - 6インチおよび8インチのウェーハをサポート - 最高支持 2112 個 Die

 

システムインテグレーションサービス

ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。

• システム構成設計・機器選定支援
• LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
• 制御盤設計・製作
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ペリテックの技術力と経験を活かし、試験・計測・制御システム全体の構築をサポートします。