WLBI370A ウェハレベルバーンインシステム

WLBI370A ウェーハレベル老化システムは、全自動化された統合型の炭化ケイ素ウェーハ老化テスト装置です。超高い老化能力を備え、同時に20 枚のウェーハに対して高温ゲートバイアス（HTGB）老化を行うことができます。異なる製品の老化ニーズに応じて老化条件を設定可能です。各ダイの閾値電圧（Vth）を正確にテストできます。システムの各チャネルには独立した過電流保護機能が装備されており、測定対象デバイスの安全を確保します。システムは顧客のEAPと接続可能で、生産データの管理を実現します。システムは自動的にMAPデータを生成し、ユーザーが詳細な性能分析と品質管理を行えるようにします。

特徴

自動化

ウェハおよび治具の供給は全自動化されており、人手による介入は不要です。

高精度テスト

システムインテグレーションサービス

ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。

• システム構成設計・機器選定支援
• LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
• 制御盤設計・製作
• 信号整合・インターフェース設計
• ソフトウェア開発・自動試験シーケンス構築
• 現地導入・調整・保守対応

ペリテックの技術力と経験を活かし、試験・計測・制御システム全体の構築をサポートします。