WAT6200S WATシリアルWaferアクセプタンステストシステム
元データ表、高電圧パルス電源、低リークスイッチマトリックスはすべて自社開発製品であり、お客様のサプライチェーンにおける供給リスクを低減します。
ピン数の柔軟な設定
最大 14チャンネルの入力と48チャンネルの出力をサポートしています 独立 Chuck 出力、
ユーザーが柔軟に設定できるように、低コストの反復的なアップグレードを実現する。
精度が高い
精度は1pAに達し、システム漏れ電流は＜1pAです。
ソフトサポートSECS/GEM
可接入顧客 EAP、
遠隔監視は操作が簡単で、作業効率を向上させます。
集成 GAL/DIAG/PVソフトウェア
ユーザーテストログはカスタマイズ可能で、より低レベルの漏れ電流パラメータの測定に対応しています。これにより、ユーザーは問題を迅速に特定できます。
主流の48ピン円形ピンカードに適合
既存のテストシステムを追加コストなしで置き換えます。
すべての主流プローバーをサポートしています。
プローブステーションとの高い互換性
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL，TSK UF200/UF3000/UF3000EX 等
高適応、全互換
兼容テストプログラムとAlgoアルゴリズム、
Pythonプログラミングを支持する。
システム構成
WAT6200S系列型号
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序号 |
モデル |
名称 |
説明 |
| 1 | WAT6210S | 汎用WAT測定装置 | 200V,1Adc,100nV/1fA,48Pin |
| 2 | WAT6215S | 汎用WAT測定装置 |
200V,1Adc,100nv/1fA,48Pin full kelvin,Cable Out |
WAT6200S系列システム構成
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子類 |
説明 |
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ワークステーションおよびシステムソフトウェア |
Win10ワークステーション、ptSemightテストソフトウェア |
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電容計 |
市販品（オプション）： 1fF〜100nFの測定範囲 |
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電圧計 |
市販品（オプション）： 7 位半以上の解像度 |
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信号分析器 |
市販品（オプション）： 9K~10M 周波数範囲 |
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低漏れ電流スイッチマトリックス |
RM1010-LLC： 低漏電流スイッチマトリックス主機は、14チャンネル入力をサポートし、最大 4 枚のR1010G-LLCサブカードを挿入でき、48チャンネル出力をサポートし、独立専用のチャック出力があります R1010G-LLC（オプション）： 低漏電流スイッチマトリックス子カード、8チャンネル出力 12チャンネル出力、200V、1A、<100fA@10V（低漏電流チャンネル） |
| PXIeシャーシ | SMU、SPGU 数量に適合したPXIeシャーシ |
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ソース測定ユニット（SMU） |
S2012C（オプション）： 1スロット占有、200V、1A、100nV/10fA S2016C（オプション）： 1スロット占有、200V、1A、100nV/1fA |
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高電圧パルス発生ユニット(SPGU) |
S3023P（オプション）： 2スロット占有、±40V（オープン）、±20V（50Ω） |
システム機能の概要
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テスト目標 |
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Si/GaN/SiC 等半導体デバイスのウエハレベルWATテスト、WLRテスト |
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テスト項目（に限らず） |
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IV/CV |
Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm |
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MIM_CAP，C & G |
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Ic-Vc，BETA，BV |
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Ron，R_tlm，Rsh_van |
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Spot，Sweep，Search |
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Kelvin & Non-Kelvin |
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Differential Voltage |
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頻度 |
Frequency |
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信頼性 |
HCI，BTI/NBTI，TDDB |
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直流テスト |
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テスト機器 |
Semight S2012C，S2016C |
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テスト機能 |
単点、スキャンなど |
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テスト範囲 |
S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V |
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S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V |
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電容テスト |
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テスト機器 |
商用計器 |
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テスト機能 |
C/G |
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テスト頻度 |
1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz |
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テスト範囲 |
1fF to 100nF |
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直流バイアス |
±40 V |
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差分電圧テスト |
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テスト機器 |
商用DVM |
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テスト範囲 |
1µV to 100V |
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高速パルス信号生成 |
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信号発生器 |
Semight S3023P |
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信号幅度 |
±40V（開路）、±20V（50Ω負荷） |
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信号周波数 |
0.1Hz to 10MHz |
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信号パルス幅 |
60 ns to (脈冲周期- 60 ns) |
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信号エッジ |
20 ns（Vamp < 5V, 負荷開路） |
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信号分析 |
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分析計 |
商用計器 |
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周波数範囲 |
9K to 10M Hz |
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低圧低漏電流スイッチマトリックス |
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スイッチマトリックス |
Semight RM1010-LLC |
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出力チャネル |
x12, x24, x36, x48 |
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計器インターフェース |
最高で8ポートの同時入力をサポートし、そのうち2ポートは電漏電流入力をサポートしています |
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最高 14ポート入力、外部計器のシリアルテスト用に2つの4 選 1ポートを含む |
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両端口の二択出力をチャックに送る |
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システムインテグレーションサービス
ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。
- システム構成設計・機器選定支援
- LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
- 制御盤設計・製作
- 信号整合・インターフェース設計
- ソフトウェア開発・自動試験シーケンス構築
- 現地導入・調整・保守対応
ペリテックの技術力と経験を活かし、試験・計測・制御システム全体の構築をサポートします。
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