S3023P PXIe モジュール式パルス電圧源

 

S3023P は、PXIeモジュール式の1チャネル高電圧半導体テスト・パルス源です。最大±40 Vの高電圧パルスを出力でき、最速20 ns（Vamp < 10 V）のエッジ時間を提供することで、半導体の高速テスト・アプリケーションの要求に対応します。 S3023Pは標準的なSCPIコマンドをサポートしているため、テスト・コードの移行を迅速かつ容易に行うことができます。また、複数モジュールの並列動作および同期をサポートしており、生産テスト・システムに統合することで、システムのテスト効率の向上とコスト削減を実現します。

 

特徴

高電圧範囲が広い

±40V、NVMテストの技術的条件を満たします

 

高電圧変動率が速い

1000V/µS、より速いエッジを発生させることができる高電圧パルス

 

PXIeインターフェース

多チャネル拡張： 標準PXIeシャーシに対応
容易なシステム統合： 他のPXIe計測器とシャーシを共有し、柔軟な半導体テスト・システムを構築

 

マルチレベル・パルス

多彩な出力に対応： 2レベルおよび3レベル・パルスを出力可能
柔軟なパルス組み合わせ： 複数のパルスを組み合わせ、半導体テストにおけるマルチレベル・パルスの要件に完全対応

 

ALWG機能

ユーザーによるCSVベースのテキスト編集をサポート
任意のリニア波形信号の出力に対応

 

技術仕様

ソフトウェア機能：

非常に直感的でシンプルなGUIにより、チャネルの出力電圧波形を簡単に設定できます。

パルス パラメータ指標

パラメータ名		仕様
周波数範囲		0.1 Hz ~ 33 MHz
パルス周期	設定範囲	20 ns ~ 10 s
	分解能	10 ns
	最小値	100 ns ( Vamp ≤ 10 V)
	確度	±1%
パルス幅	設定範囲	10 ns ~ (パルス周期 - 10 ns)
	分解能	2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs) 10 ns (Tr or Tf ≥ 8 µs)
	最小値	50 ns (Vamp ≤ 10 V，20 ns代表値)
	確度	± (3% + 2.5 ns)
立ち上がり／立ち下がり時間[3] （Tr/Tf）	設定範囲	8 ns ~ 400 ms
	分解能	2.5 ns (Tr and Tf ≤ 8 µs) 8 ns (Tr or Tf > 8 µs)
	最小値[4]	20 ns (Vamp ≤ 10 V) 30 ns (Vamp ≤ 20 V) 60 ns (Vamp > 20 V)
	確度	± (5% + 10 ns) (Vamp ≤ 10 V) ± (5% + 20 ns) (Vamp ≤ 20 V)
出力リレー切替時間（ON/OFF）		≤ 100 μs

[3]出力パルス振幅（Vamp）が10%から90%に立ち上がる、または90%から10%に立ち下がるのに要する時間。

[4]適用可能なタイミング確度の最小値。

 

補足指標

パラメータ名	仕様
パルス幅ジッタ	0.001% + 250 ps
パルス周期ジッタ	0.001% + 250 ps
最大電圧スルー・レート	1000 V/µs (50 Ω)
出力ノイズ	15 mVrms (DC OUT)
出力電圧モニター確度	± (0.1% + 25 mV) / 1 PLC (OPEN)
出力電圧モニター分解能	50 μV

 

システムインテグレーションサービス

ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。

• システム構成設計・機器選定支援
• LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
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ペリテックの技術力と経験を活かし、試験・計測・制御システム全体の構築をサポートします。