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SA8000 半導体パラメータ・アナライザ

 

SA8000は、多機能かつ高集積な半導体パラメータ・アナライザであり、高効率で精密な半導体デバイスのキャラクタライゼーションを実現します。本システムは包括的な測定機能を備え、標準的な直流 I-V/C-V 測定から高精度な過渡パルス試験まで対応可能です。優れた測定安定性と高いデータ再現性を誇るSA8000は、複雑な構造を持つデバイスに対しても、包括的で信頼性の高いパラメータ分析ソリューションを提供します。

 

特徴

高性能試験プラットフォーム

サブ・フェムトアンペア分解能

 

極微小電流の究極的な計測

電流測定分解能:0.1 fA(10-16 A)

 

フル統合型・多次元計測機能

DC I-V、C-V、および高速パルス計測ユニットの柔軟な組み合わせ

 

プログラミング不要の「Quick Test」モード

デバイスの特性曲線や主要パラメータを迅速に測定

 

機能と利点

フル機能・高精度テスト計測

HPSMU 源・測定分解能:100nV/1fA
HRSMU 源・測定分解能:100nV/0.1fA
HV-SPGU 超高速パルスおよび過渡 I-V 計測 (Rise/Fall time, 20ns)
WGFMU 複雑な任意波形生成 (ALWG) および高速計測(Fast I/V, 500MSa/s)
MFCMU 多周波数容量計測(10MHz)

 

SemiExpert:半導体パラメータ解析用プロフェッショナル・ソフトウェア

スイッチ・マトリクス対応(Switch)
プローバ対応 (Prober)
オープンなアルゴリズム・ライブラリ (Python)
リアルタイム・グラフ表示 (Chart)

オプション・モジュール

モジュール

モジュール名称

占有スロット数

試験項目

主な仕様

S2016C-SA

高出力ソースメジャーユニット

1

DC I-V
Pulsed I-V
電圧:最大 200 V / 電流:最大 1 A(パルスモード時 最大 3 A)
最小分解能:1 fA / 100 nV
S2017C-SA

高出力ソースメジャーユニット

1

DC I-V
Pulsed I-V
電圧:最大 200 V / 電流:最大 1 A
最小分解能:1 fA / 100 nV
オプションのプリアンプ(前置ユニット)により、0.1 fA の最小分解能および I-V/C-V 変換に対応
Z4001C-SA

マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット

2

AC Impedance
C-V, C-f, C-t
周波数範囲:20 Hz to 2 MHz
内蔵 DC バイアス:±40 V
S3023P-SA

半導体パルス発生装置

2

2-Level/3-Level Pulse
ALWG
高電圧出力:最大 ±40 V
最小パルス幅:20 ns
S3033C-SA

波形ジェネレーターと高速測定ユニット

3

PG/Fast IV
ALWG
Transient Waveform Capture
プログラミング分解能:2 ns
サンプリングレート:250 MSa/s
出力電圧:20 Vp-p

 

主なアプリケーション

カテゴリー

アプリケーション試験

CMOS トランジスタ

Id-Vg, Id-Vd, Vth, Breakdown, Capacitance, Self-heating reduction, etc.

バイポーラ接合トランジスタ (BJT)

Ic-Vc, Diode, Gummel plot, Breakdown, hFE, Capacitance, etc.

ディスクリート半導体

Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Diode, etc.

メモリ

Vth, Capacitance, Endurance test, etc.

パワーデバイス

Pulsed Id-Vg, Pulsed Id-Vd, Breakdown, etc.

ナノデバイス Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, etc.
信頼性試験 NBTI/PBTI, Charge pumping, Electromigration, Hot Carrier Injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB, etc.

 

システムインテグレーションサービス

ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。

  • システム構成設計・機器選定支援
  • LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
  • 制御盤設計・製作
  • 信号整合・インターフェース設計
  • ソフトウェア開発・自動試験シーケンス構築
  • 現地導入・調整・保守対応

ペリテックの技術力と経験を活かし、試験・計測・制御システム全体の構築をサポートします。

 

 

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