WLBI3810 結晶レベルの経年変化システム

 

WLBI3810ウエハレベル老化システムは、高性能な専門の炭化ケイ素ウエハ老化テスト装置であり、同時に9 枚のウエハに対して高温ゲートバイアス（HTGB）老化と高温逆バイアス（HTRB）老化を行うことができます。老化テストの時間範囲は数分から数十時間、さらには数千時間にまで拡張可能で、さまざまな製品の老化ニーズに応えます。装置は自動供給および排出システムを統合しており、さんュアルカセット設計によりシームレスな切り替えをサポートし、老化条件の自動切り替え機能を備えています。各ダイの閾値電圧（Vth）を正確に検出することができます。システムの各チャネルには独立した過電流保護機能があり、測定対象デバイスの安全を確保します。システムはマップデータを生成し、ユーザーが詳細な性能分析と品質管理を行えるようにします。システムはバッチ生産に対して安定した信頼性のある老化テストサポートを提供し、研究開発アプリケーションに対しても柔軟な構成オプションを提供します。

 

特徴

自動積み込み・積み下ろし

ウェーハの全自動給排をサポート
人為的介入を減少させ、老化率と正しさを向上させる。

 

高精度定位

針痕の繰り返し位置決め精度は±25 μmに達します。

 

システム機能が豊富です。

マップデータバインディングをサポートする
高密度プローブカードおよび高圧チャックをサポートしています
最高で2560 個のダイを同時に老化させることができます。

 

マルチモードエージング

HTGBとHTRBは自動的に切り替わり、異なる老化ニーズに対応します。

 

漏電配置スキャン

IgssとIdssの漏電設定をスキャンできます。

 

集成テスト機能

集成 Vthパラメータテスト。

 

高精度漏電流テスト

漏れ電流分解能の最高精度は0.1 nAです。
最大漏れ電流精度 0.5nA

 

温度制御

温度均一性≤±2℃@TR~175℃、精度≤1℃、分解能 0.1℃

 

機能と利点

システム構成

本装置は最大9つのエージングステーションを構成可能で、各ステーションでウェーハのエージングを行うことができます。各ステーションの回路は独立して制御されるため、ステーションごとに異なるモードで動作させたり、エージングプランを呼び出して異なるエージング検証を実施したりすることが可能です。

 

システムインテグレーションサービス

ペリテックは、各種センサ、信号変換モジュール、リレー、通信機器などを活用し、お客様の計測・制御システムを最適に構成します。機器単体の提供にとどまらず、以下を含む一貫したシステムインテグレーションサービスを提供します。

• システム構成設計・機器選定支援
• LabVIEW・PXI・CompactDAQなど計測プラットフォームとの統合
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